خلاء جزئی ممکن است با افزایش حجم ظرف ایجاد شود. برای ادامه تخلیه یک اتاق به طور نامحدود بدون نیاز به رشد بی نهایت حجم، مقداری از محفظه خلاء را می‌توان بارها بسته و تخلیه کرد و دوباره باز کرد. این اصل پشت پمپ جابجایی مثبت مانند پمپ وکیوم روتاری است. درون پمپ، دستگاه وکیوم یک حفره آب بند کوچک ایجاد می‌کند تا آن مقدار هوا را در جو تخلیه کند و این پروسه بارها تکرار می‌شود.

سیستم‌های پیچیده‌تر برای صنایع پیچیده‌تر استفاده می شود، اما اصل اصلی حذف حجم یکسان در هر سیکل است

انواع سیستم‌های تولید خلاء:

  • پمپ وکیوم روتاری، شایع ترین
  • پمپ وکیوم دیافراگمی، آلودگی صفر روغن
  • پمپ liquid-ring، مقاومت در برابر گرد و غبار
  • پمپ پیستونی، نوسان خلاء
  • پمپ اسکرال، سریعترین پمپ خشک
  • پمپ اسکرو (10 پاسکال)
  • پمپ Wankel
  • پمپ Toepler
  • پمپ Lobe

یک پمپ خلاء جابجایی مثبت در هر چرخه حجم ثابتی از هر گاز را حرکت می‌دهد، بنابراین سرعت پمپاژ آن ثابت است.

:امروزه سيستم‌هاي وکيوم يا خلاء در صنايع مختلف کاربرد زيادي پيدا کرده است از جمله

    • صنايع مواد غذايي،
    • ضدعفوني محصولات کشاورزي،
    • توليد مواد شيميايي،
    • برای راه‌اندازی و تعمير سيستم‌هاي سرد کننده،
    • تعويض روغن اتومبيل،
    • بازرسي جوش،
    • ساخت بدنه يخچال،
    • توليد ديسک‌هاي فشرده کامپيوتري،
    • ساخت کامپوزيت‌ها و …

همچنین تحقيقات بسياري از فرآيندهاي فيزيکي و شيميايي پيشرفته در محيط خلاء صورت مي گيرد. براي طراحي و ساخت تجهیزات مورد نیاز به منظور تکمیل این فرایند پمپ‌های وکیوم روغنی یکی از ملزومات است. پمپ وکیوم روغنی، با اتاقک‌ها و روش‌های عملیاتی گوناگون خود می‌توانند طیف گسترده‌ای از سیستم‌های ایجاد خلأ را به وجود آورند. گاهی اوقات برای انجام کار مشخصی از بیش از یک پمپ استفاده می‌شود و این پمپ‌ها می‌توانند به صورت سری یا موازی در یک عملیات واحد استفاده شوند. با استفاده از یک پمپ جابجایی مثبت که مقداری گاز را از دهانهٔ ورودی به کانال خروجی (اگزوز) منتقل می‌کند می‌توان یک خلاء جزئی، یا خلاء تقریبی ایجاد کرد. به دلیل محدودیت‌های مکانیکی، این گونه پمپ‌ها تنها می‌توانند خلأ محدودی ایجاد کنند. برای رسیدن به یک خلاء بالاتر، می‌توان از روش‌های دیگر و گاهی هم افزودن پمپ‌های دیگری به صورت سری استفاده کرد.

دستیابی به خلأ بالا کار دشواری است زیرا همهٔ مواد زمانی که در معرض خلأ قرار می‌گیرند، کم و بیش به شکلی واکنش نشان می‌دهند. تبخیر، آزاد شدن گازهای قبلاً جذب شده (جذب سطحی) و دیگر پدیده‌ها خلأ ایجاد شده را پر کرده و از رسیدن به میزان خلأ دل‌خواه جلوگیری می‌کند. معمولاً تمام سطحی که با خلأ در تماس هستند باید از موادی که در دمای بالا پخته شده باشند تهیه شوند تا از میزان این گازها بکاهد.